استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب دوست شده پلیمر pmma

نویسندگان

علیرضا شمسی

دانشگاه صنعتی مالک اشتر - دانشکده برق و الکترونیک سعید دل آرام فریمانی

دانشگاه صنعتی مالک اشتر - دانشکده برق و الکترونیک احمد عفیفی

دانشگاه صنعتی مالک اشتر - دانشکده برق و الکترونیک

چکیده

روش های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته اند. در این مقاله، روشی مفید و کم هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر su-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه ای ساخته شده است. فرآیند حرارتی مورد استفاده در این روش شامل پارامترهای مهمی همچون دما و فشار می باشد که همگی مورد بررسی قرار گرفته اند. برای اینکه بتوان از ساختار ایجادشده در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود، بستر آب گریز pmma، آب دوست گردیده تا بتوان از آن در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود. همچنین در این مقاله ساختارهایی با کمینه ابعاد 15 میکرومتر و ارتفاع 50 میکرومتر ساخته شده اند که برای کاربردهای میکروفلویدیکی قابل قبول می باشد. ویژگی های بارز این روش ساخت، سادگی به دلیل عدم به کارگیری تجهیزات پیشرفته آزمایشگاهی و هزینه کم به سبب استفاده از زیرلایه شیشه ای برای مهر و ورق های پلکسی به عنوان بستر می باشند.

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب‌دوست‌شده پلیمر PMMA

روش‌های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن‌ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته‌اند. در این مقاله، روشی مفید و کم‌هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته‌سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر SU-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه‌ای ساخته‌شده است. فرآیند حر...

متن کامل

تحلیل تجربی و عددی شکست پلیمر PMMA تحت مود مرکب

معمولاً بروز شکست در پلیمرها بر اثر اعمال بارگذاری ترکیبی کششی – برشی به وقوع می‌پیوندد. آزمایش آرکان که در اصل برای مواد کامپوزیتی طراحی شده است، در سال‌های اخیر توسط بسیاری از محققان برای مواد همگن مورد استفاده قرار گرفت. در این پژوهش برای دستیابی به مقادیر بحرانی شکست، نمونه های آزمون به شکل پروانه ای از جنس پلیمر پلی متیل متاکریلات تهیه شد. آزمون نمونه ها در سه طول ترک مختلف و سه مود اول و م...

متن کامل

اثر پلاسمای rf بر روی خواص سطحی پلیمر pmma

در این پایان نامه اثر پلاسمای رادیوفرکانسی اکسیژن بر ویژگی های سطحی پلیمر pmma از جمله زاویه تماس، انرژی سطح، زبری و سختی سطح و همچنین مورفولوژی سطح بررسی شده است. پلاسمای گازی توسط مولد رادیوفرکانسی 6/13 مگاهرتز تولید شده است. تغییرهای ایجاد شده بر سطح پلیمر بر اساس تابعی از زمان پردازش مورد مطالعه قرار گرفته است. در ابتدا زاویه تماس نمونه ها و انرژی آزاد آن ها توسط روش اونز- وندت اندازه گیری ...

15 صفحه اول

مقایسه دو روش جهت حذف خشونت های سطحی ایجاد شده در مینا پس از وایتال بلیچینگ

مقدمه: تکنیک سفید کردن دندانهای زنده روش درمانی موثر برایکاهش بدرنگی های دندان ها است. نتایج مطالعات قبلی حاکی از این است که کارباماید پراکساید باعث خشونت سطحی مینا میشود و در نتیجه رنگ پذیری سطح افزایش می یابد. هدف از این تحقیق، مقایسه دو روش جهت حذف خشونت سطحی مینای دندان بلیچ شده بود. مواد و روشها: در این مطالعه موازی مداخله گرانه، 60 نمونه از سطح فیشیال دندانهای اینسایزور سالم گاوی با اب...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید


عنوان ژورنال:
مهندسی برق دانشگاه تبریز

جلد ۴۶، شماره ۲، صفحات ۱۲۷-۱۳۳

کلمات کلیدی

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023